FSD快速整定平臺系列主動隔振系統(tǒng)
特點：• 一體式隔振系統(tǒng)，占用空間小
• 單向最高提供1280N推力
• 6自由度主動隔振
• 主動隔振帶寬低至0.8Hz起
• 自研控制系統(tǒng)
• 零部件國產(chǎn)化
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型號 |
FSD100A |
FSD100B |
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外形尺寸 |
1000×700×150 |
1020×875×166 |
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單腿自重 |
138kg |
211kg |
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主支撐體 |
鋼彈簧 |
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4腿系統(tǒng)承載 重量 |
1000kg |
1000kg |
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垂向傳遞率 |
≤-3dB@2Hz ≤-12dB@5Hz ≤-25dB@10Hz |
≤-3dB@2Hz ≤-12dB@5Hz ≤-25dB@10Hz |
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水平向電機 峰值推力 |
640N |
1280N |
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適用領(lǐng)域 |
先進量檢測設(shè)備 |
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PAD一體式平臺系列主動隔振系統(tǒng)特點：
• 4個隔振單元組成一體式隔 振系統(tǒng)，便攜安裝
• 支撐單元多樣化，彈簧、 氣浮、磁浮可選
• 6自由度主動隔振
• 主動隔振帶寬低至0.8Hz起
• 自研控制系統(tǒng)
• 零部件國產(chǎn)化
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型號 |
PSQ-BHJI |
PSQ-BLFT |
PFQ-BTFS |
miniPSQ- BHDD |
PSQ-DHLL |
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外形尺寸 |
1060×900×200 |
2020×1370×295 |
2000×2000×390 |
400×450×280 |
定制 |
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自重 |
121kg |
2400kg |
5000kg |
17kg |
130kg* |
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主支撐體 |
鋼彈簧 |
鋼彈簧 |
空氣彈簧 |
鋼彈簧 |
鋼彈簧 |
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系統(tǒng)承載重量 |
600-1100kg |
1200-2000kg |
2000-2500kg |
50-110kg |
600-1100kg |
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垂向傳遞率 |
≤-12dB@2Hz ≤-20dB@5Hz ≤-30dB@5Hz |
≤-15dB@2Hz ≤-20dB@5Hz ≤-30dB@10Hz |
≤-15dB@2Hz ≤-20dB@5Hz ≤-30dB@10Hz |
≤-10dB@2Hz ≤-20dB@5Hz ≤-30dB@10Hz |
≤-20dB@2Hz ≤-35dB@5Hz ≤-40dB@10Hz |
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適用領(lǐng)域 |
SEM 、TEM 、ACTEM等各類電鏡，桌面式精密儀器等 |
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13810146393
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